Press "Enter" to skip to content

Why lithography matters? | Reza Enshaie | TEDxSari


вычисление является определяющей чертой нашего
современной жизни и, действительно,
научное открытие почти в каждом
поле как пользователи неспециалиста вычислений
технологии, которые мы выросли, чтобы быть зависимыми
на вычислении для контроля почти каждого
аспект нашей жизни от управления
наши поезда в наши аэропорты к нашим
políticas платформ социальных медиа
таких как Facebook и Twitter, однако
Есть лишь немногие из нас , что когда — либо
удивился, что делает этот монументальный
прогресс в технологии возможной было бы
не будет преувеличением сказать, что
Закон Мура в последние двадцать-тридцать
годы были самыми
инновации, которые повлияли на нас
Конечно, в
20-го века , который был глубоким
влияет на нашу жизнь, но закон Мура
больше , чем любой заслуживает того, чтобы поставить на
пьедестал для глубоко и лично
коснулся каждой из наших жизней
реализация вычислительной обработки
мощность удваивается примерно каждые два года
что позволило нам перейти от грубого
2 000 транзисторов на одном
Микропроцессор в 1970 — е годы в настоящее время более
чем 1 миллиард процессора, который вы можете
купить в любом месте прямо сейчас, так что обратно
на этот вопрос, что делает это
прогресс там, казалось бы, не остановить
прогресс в технологии возможной колодце я
здесь, чтобы рассказать вам сегодня, что это из-за
технологии мы назвали литография OUR
способность определять при все меньшем
степеней и для определения размеров
микроэлектронные схемы, которые
делает возможным каждый процессор, поэтому позвольте мне
поговорите с вами об эволюции
литография просто краткая история этого
мы начали примерно в 1970-х годах в
системы, которые мы называем контактной литографией
мы инвертируем
выше , система находилась в контакте с
субстрат или кремний, которым мы были
Сегодня мы пытаемся
система, называемая иначе известной как шаг
и сканирование, где каждое поле, которое вы хотите
каждый микропроцессор
транзистор, который разрабатывается, и
затем повторная пила и т. д.
мы начали с длин волн в порядке
460 нанометров в 1970-х годах в
литограф х ‘термины он назывался G
линия литографии сегодня мы находимся на глубокой УФ
или 193 нанометров с правой стороны вы
может получить представление об этих инструментах, которые
таких производителей, как Intel или Samsung
или многие другие используют их очень тяжелые
оборудования объективы разработаны очень
точно сохранены в нетронутой среде
в микрозаводе или
иначе известный как fab, каждый инструмент стоит
что-то вроде десяти или восьмидесяти двухсот
миллион долларов и конкретный
у производителя может быть десять таких
инструментов или двадцать из этих инструментов на их
чтобы они могли
реализовать потенциал производства
в высокомасштабированном
чтобы сделать это реальным
бизнес , если вы можете внимательно посмотреть на вас
видеть , что операторы Gound или заря
этот вид защитной одежды не
для защиты их от продукта, но до
защищать продукт от примесей
созданный ими, поэтому я просто пытаюсь
чтобы получить представление о том, как сложно
это дело и как дорого
получить возможность добиться прогресса
что мы видим сегодня так, что
литографию, о которой вы можете подумать
оптической литографии в очень простой
термины — это процесс формирования рисунка
паттерн на подложке в этой ловушке
в этом случае кремний и перенос
эти геометрические узоры на пластинах или
кремния через предопределенную конструкцию
дизайн находится на фотомаске или сетке
и тогда это все шансы перейти на
резист светочувствительного материала , который
взаимодействует со светом, а затем мы можем
в основном делают устройства, так что я просто
упомянутое реализовано на картинке, которую вы
см. справа, вы заканчиваете строками
и пространства, по существу,
схемы в нанометровом масштабе, и вы
имеют миллиарды этих линий и пробелов
позволяя вам сделать транзистор, позвольте мне
дать вам основную последовательность обработки
Конечно , в них много последовательностей
производство полупроводников, которые
критический , но литография на сегодняшний день
наиболее трудно , потому что толкает
предел технологии, которую вы начинаете с
мягкий прямой кремний в основном грязь
от Земли вся эта индустрия
созданный из недостатка, так что это то, что
так удивительно, что он очищен
кристаллическая форма лишена каких-либо
кислород затем покрывают этим типом
легкого сорта чувствительного материала
называемый сопротивлением тому, что свет распространяется на ваш
дизайн вашей маски подвергается воздействию областей, где
резист взаимодействует с огнями
удаляется в химическом реакторе-проявителе и
то тогда вы проходите через окантовку
процесс, а затем, наконец, вы удалите
сопротивляйтесь снова, вы оказываетесь в
изображение как то на их электроном
микроскоп, так как мы это делаем
основополагающие основы этого уравнения
что описать это в очень простых терминах
угловой угол света преломлен
свет от вашей маски, связанный с
длина волны света и ваша щель
открытие вашей маски литографией
литограф должен использовать несколько
заказы дифрагированного света для захвата как
как можно больше информации, чем больше
Информация , которую вы имеете , тем лучше ваш
разрешение будет и тем быстрее ваш
компьютер будет в конце, поэтому на
Сердцем всего этого является сортировка уравнения Райли
связанного с первым уравнением, но
более конденсированный с описанием
или насколько точным является ваше изображение
и, наконец, снова, насколько быстро ваше устройство
будет работать на длину волны света и
числовая апертура числовая
диафрагма размер вашего объектива
может думать об этом простым
непрозрачность света проста
УФ-свет, который мы используем в 193 УФ-свете
поэтому у вас действительно есть три варианта: три
основные выборы для того , чтобы сделать
прогресса вы можете увеличить числовые
диафрагма делает большие линзы более
дорогой вы можете уменьшить длину волны
света или уменьшить этот коэффициент K
фактор вымывания, который вы часто видите в
физика или другой вы знаете электрическим
так что, если эти факторы
что нужно сделать с окружением
Инструмент объектив все, что вы хотите быть
способный уменьшить его, чтобы улучшить
так что это имя
игра, поэтому позвольте мне поговорить о первом режиме
прогресса, увеличивающегося числовым
максимальная апертура диафрагмы
угол отклоненного света линзой
когда свет переходит на щель, его дифрагирует
потому что это волна, а потом у вас есть
эти способы дифракции эти темные
пятна и светлые пятна, если вы все
Захваченные только концы п равно один порядок
информации ваше разрешение не
будет хорошо, так что ключ
Идея здесь состоит в том, чтобы проектировать линзы, которые
способность захватить как можно больше
дифрагированные порядки дифрагированного
света насколько возможно пространственная частота
компоненты света, поэтому в последние годы
у Intel и некоторых других производителей мы
ввел концепцию погружения
по существу, нанося ультрачистую воду
между объективом и подложкой
кремний Intel был одним из первых
производители , которые был способен производить
это в 1268 технологии 32 нанометра
очень эффективно при очень высоких выходах
Таким образом , будучи примерно от 2 до 3 лет впереди
любые другие производители, такие как Samsung
другой ведущий производитель, которого мы используем
воды, поскольку он имеет более высокий показатель
преломление и показатель преломления
вызывает ваш расширитель вызывает больше
числовая апертура по сравнению с воздухом
который имеет показатель преломления 1
так что в конечном итоге
объектив, но на вашем объективе нет
физически больше, похоже , что
путь есть большой, есть компромисс
когда вы увеличиваете числовое число
апертура, как все в жизни, ничего
является бесплатным, поэтому вы можете думать об этом в
простые термины простые термины вроде
фотографии при увеличении изображения
вы можете захватить много информации
о том , что область , которую вы пытаетесь
сфотографировать , но вы потеряете
способность разрешать изображения при больших
так что это одна из проблем
просто полагаться на числовую апертуру на
улучшите свое разрешение, чтобы мы сделали другое
вещи усиливают k-фактор, о котором я говорил
об этом коэффициенте выдумки вы делаете это
в основном изменение инженерных систем
ваша маска из обычного кругового
режим к этим другим режимам в четыре раза
угловые игровые приемы с оптикой
наиболее эффективным способом является третий способ
что вы можете в основном сделать быстрее
компьютеры уменьшают длину волны
света мы сейчас работаем в режиме
где длина волны света равна 13 и
1/2 нанометров , которые будут введены в
следующие несколько лет от Intel во многих
компьютеры , которые вы будете в состоянии
покупки, и поэтому это становится очень
поскольку длина волны
свет уменьшается, так как мы это делаем
Сейчас Intel работает над этим
технологии, называемой глубоким ультрафиолетом или
Крайний ультрафиолет EUV — это
источники, генерируемые плазмой
источников, поэтому есть много энергии
высокоэнергичных газа вовлечена
источники — фотоны энергичны
когда они ударяют ваше сопротивление сопротивляться Hough
должен выдерживать поток или
энергии этих фотонов, так что
новые типы резистов являются проблемой для
производители вашей оптики должны быть
очень точные линзы или маски
должны быть очень бездефектными
ваши маски должны быть пеликами, есть
ничего доброго ничего не может коснуться
коснитесь маски, чтобы это стало очень
трудно и сложно сделать это сегодня
Я здесь, чтобы предложить другой путь, и это
это своего рода хеджирование ваших ставок, потому что
мы потратили столько денег и ресурсов
по ЕС
и становится все сложнее сортировать
толчок границы закона Мура
которые произойдут для следующего поколения, мы
должны исследовать другие технологии один
таким примером является нано- литография или нано
отпечаток литографии, где вы
в основном разрабатывая эти маски, которые
находятся в наномасштабе, и они представляют собой форму
есть нанос, который вы нажмете
вниз эту форму в сопротивлении вы идете к
серия этапов, таких как мягкая литография
теплый отпечаток мало в комнате
температура здесь у вас есть преимущество
не беспокоиться о рассеянии вас
не нужно вмешиваться в вас
у вас нет фракции, потому что вы
существенно соприкасаясь с этими формами
вступают в контакт с резистом и
все это делается при комнатной температуре, поэтому
Я предлагаю, чтобы производители преследовали
эта технология, конечно, есть много
проблемы с этой технологией
но нет ничего, что мы не можем
преодолеть это просто вопрос денег и
вкладывая больше ресурсов в это, чтобы сделать
это действительно произойдет , так что позвольте мне закончить
говоря несколько слов, у вас уже есть
понять, что означает закон Мура, так как мы
уменьшите размеры элементов, когда мы играем с
оптики, поскольку мы уменьшаем оригинал
длину волны света, чтобы можно было
быстрее мы запускаем
фундаментальные ограничения, и эти ограничения
определяемый законами физики
сами они, конечно, больше
земные законы и законы — это законы
уменьшения прибыли
более дорогими файлами могут быть файлы, которые
составляют примерно десять миллиардов долларов
каждые три года дороже
оборудование массивные инструменты прямо больше
Дорогие дорогие, вы знаете больше трудов
с точки зрения исследований и
развития и поддержки нас, поэтому при этом
вы можете спросить себя :
Закон Мура мертв, я действительно верю
Закон Мура не мертв, на самом деле мы
едва начал царапать поверхность в
сроки количества нововведений мы
смогут вступить в
рынок в ближайшие двадцать-тридцать
лет
в ближайшие двадцать-тридцать лет
горизонт мы будем свидетелями некоторых
более поразительное количество нововведений
сделанный искусственным интеллектом
квантовые вычисления и оптоэлектроника
эта шляпа заставила многих спекулировать и
использовать этот форум форума TED для
утверждают , что мы находимся на грани
особенность является особенностью
по существу, суммирование наших
научные знания удвоения примерно
каждый час каждый день к 2050 году, а не
каждые два года это смелая идея, но
если мы полагаем, что мы находимся на экспоненциальном
экспоненциальная кривая прогресса это будет
действительно бывают и в XX веке
мы видели, что мы экспоненциально
растет нашу технологию так на более
Что это значит?
когда вы говорите, что закон Мура мертв, что
означает ли это, когда вы спрашиваете , когда
вы спрашиваете , что вы на самом деле
опрос или вопрос — это человеческая изобретательность
долг — человеческое любопытство, что я
твердо верю, как Homan Homo sapiens
нам никогда не хватало изобретательности или
любопытство с тех пор, как мы отплыли от
северные равнины Африки и
расширил наши виды на другие континенты
мы всегда были исследователями нашего мира
нашей вселенной мир самого
большой сегодня мы исследуем мир
очень маленький нано Масштабирует
молекулярный масштаб атомного слоя наконец
что это значит для нашего общества, что
это значит, что для нас хорошо может быть
вычислительные системы широко распространены, и здесь
оставайся там не возвращайся
общества, которые способны подтолкнуть
эмблема прогресса способна охватить
прогресс способен не только
принять его, но внести свой вклад в
это или будут общества, которые будут
успешная наша нация у нас есть обязанность
внести вклад в бар
научных знаний, и если мы это сделаем
что, если мы расширим наши научные
знания мы сможем не только
контролировать рынок идей, но
также контролировать сам рынок
Большое спасибо
[Аплодисменты]
Please follow and like us:

Be First to Comment

Добавить комментарий